堇青石基体化学气相沉积碳化硅薄膜及其性能表征

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尹博文杨艳马兵张伟刚

Preparation and Characterization of SiC Thin Film on Cordierite with Chemical Vapor Deposition

YIN Bo-wen YANG Yan MA Bing ZHANG Wei-gang

. 2008, (3): 589 -594 .

ISSN 1009-606X CN 11-4541/TQ
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