电子级多晶硅生产工艺的热力学分析

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李国栋;张秀玲;胡仰栋

Thermodynamic Analysis of Production Technology of Electronic Grade Polycrystalline Silicon

LI Guo-dong;ZHANG Xiu-ling;HU Yang-dong

. 2007, (3): 520 -525 .

ISSN 1009-606X CN 11-4541/TQ
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