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  2008, Vol. 8 Issue (3): 589-594    DOI:
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堇青石基体化学气相沉积碳化硅薄膜及其性能表征
尹博文 杨艳 马兵 张伟刚
中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室 中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室 中国科学院过程工程研究所 中国科学院过程研究所多相反应开放实验室
Preparation and Characterization of SiC Thin Film on Cordierite with Chemical Vapor Deposition
YIN Bo-wen YANG Yan MA Bing ZHANG Wei-gang
State Key Lab. Multi-phase Complex System, Institute of Process Engineering, CAS State Key Lab. Multi-phase Complex System, Institute of Process Engineering, CAS Key Lab of Multi-phase Reactions, Institute of Process Engineering. Chinese Academy of Sciences
 
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